お問合せ
採用情報
言語
言語を変更
- 日本語
- English
通貨
通貨を選んでください
- CNY ¥
- EUR €
- GBP £
- ILS ₪
- JPY ¥
- KRW ₩
- SGD $
- TWD NT$
- USD $
検索

検索

製品検索の結果

検索結果

Planarcap® APR フィルター

画像をダウンロードする

Planarcap^® (プレナキャップ) APR フィルターは、先端ノード用スラリーの粗大粒子と微小粒子の両方を低減するディスペンスポイント向けの CMP スラリー用フィルターです。

特許取得済みのポリマーメディアとノンポリマーメディアの組み合わせにより、ほとんどの粗大砥粒と凝集スラリーを減少でき、ウェーハのスクラッチによるディフェクトが減少し、歩留まりが向上
Advanced particle reduction (APR) テクノロジーにより、微細な粒子を吸着し、CMP 後洗浄の効果を向上
ディスペンスポイント用に設計されたフィルターは、ウェーハへのディスペンス直前での最適なスラリーろ過を提供

詳細を表示詳細を非表示

部品を特定してください

メディアタイプ (スラリー成分による選択)

入口/出口

長さ

ベント/ドレン

型番:

インテグリス製品に関心をお持ちの場合

個別の要件に関するご相談は、インテグリスの担当者までお問い合わせください。

担当者が未定の場合

お問い合わせ

見積請求

下のフォームにご記入ください。インテグリスの担当者からご連絡いたします。

*必須

名:

名を入力してください

姓:

姓を入力してください

国:

国を選択してください

メールアドレス:

正しいメールアドレスを入力してください

電話番号:

有効な電話番号を入力してください。

会社:

会社を入力してください。

You are required to accept the Captcha.

見積請求の送信中にエラーが発生しました。もう一度お試しください。

キャンセル

見積請求が行われました

見積請求いただき、ありがとうございます。インテグリスの担当者から速やかにご連絡いたします。

見積番号は{0}です。

トップページ

CAD CAD ファイル

この製品にCAD図面が利用できる場合があります。CAD図面が利用できるかどうかを確認するには、部品セレクトを使って部品番号を選択してください。

部品セレクトへ移動する

アプリケーション Planarcap® APR フィルターアプリケーション

CMP スラリー工程のディスペンスポイント

仕様書

寸法図

	ショート (2.5 インチ) タイプ		ロング (5 インチ) タイプ
	A	B	A	B
1/4" (6.35 mm) フレアテック	98 mm	152 mm	153 mm	208 mm
3/8" (9.53 mm) フレアテック	98 mm	152 mm	153 mm	208 mm

性能データ

製品の仕様

材質	メディア	特許取得済みのポリマーメディアとノンポリマーメディアの組み合わせ
	スリーブ、コア、ハウジング	ポリプロピレン
膜のタイプ	デプスフィルター
長さ	2.5" (ショートタイプ)、5" (ロングタイプ)
接続	入口/出口	1/4" (6.35 mm) または 3/8" (9.53 mm) フレアテック
	ベント/ドレン	1/8 NPT オスまたは 1/4" (6.35 mm) フレアテック
使用条件	最大許容正差圧	0.4 MPa @ 25 °C
	最高使用温度	60 °C

ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました

関連資料製品資料

公開 Nov 6, 2023 Data Sheet Planarcap® APR Filter - A4

331.9 kB

型番

Planarcap® APR フィルター型番

型番	メディアタイプ (スラリー成分による選択)	入口/出口	長さ	ベント/ドレン
PCPAH0L2FH	pH 2-9, 固形分濃度 10 % 以上	1/4" (6.35 mm) フレアテック	5 インチタイプ	1/8" NPT オス
PCPAH0LF1H	pH 2-9, 固形分濃度 10 % 以上	1/4" (6.35 mm) フレアテック	5 インチタイプ	1/4" (6.35 mm) フレアテック
PCPAH0S2FH	pH 2-9, 固形分濃度 10 % 以上	1/4" (6.35 mm) フレアテック	ショート (2.5 インチ) タイプ	1/8" NPT オス
PCPAH0SF1H	pH 2-9, 固形分濃度 10 % 以上	1/4" (6.35 mm) フレアテック	ショート (2.5 インチ) タイプ	1/4" (6.35 mm) フレアテック
PCPAH3LF1H	pH 2-9, 固形分濃度 10 % 以上	3/8" (9.53 mm) フレアテック	5 インチタイプ	1/4" (6.35 mm) フレアテック
PCPAH3SF1H	pH 2-9, 固形分濃度 10 % 以上	3/8" (9.53 mm) フレアテック	ショート (2.5 インチ) タイプ	1/4" (6.35 mm) フレアテック
PCPAL0L2FH	pH 2-9, 固形分濃度 2 % 未満	1/4" (6.35 mm) フレアテック	5 インチタイプ	1/8" NPT オス
PCPAL0LF1H	pH 2-9, 固形分濃度 2 % 未満	1/4" (6.35 mm) フレアテック	5 インチタイプ	1/4" (6.35 mm) フレアテック
PCPAL0S2FH	pH 2-9, 固形分濃度 2 % 未満	1/4" (6.35 mm) フレアテック	ショート (2.5 インチ) タイプ	1/8" NPT オス
PCPAL0SF1H	pH 2-9, 固形分濃度 2 % 未満	1/4" (6.35 mm) フレアテック	ショート (2.5 インチ) タイプ	1/4" (6.35 mm) フレアテック
PCPAL3LF1H	pH 2-9, 固形分濃度 2 % 未満	3/8" (9.53 mm) フレアテック	5 インチタイプ	1/4" (6.35 mm) フレアテック
PCPAL3SF1H	pH 2-9, 固形分濃度 2 % 未満	3/8" (9.53 mm) フレアテック	ショート (2.5 インチ) タイプ	1/4" (6.35 mm) フレアテック
PCPBH0L2FH	pH 6-12, 固形分濃度 10 % 以上	1/4" (6.35 mm) フレアテック	5 インチタイプ	1/8" NPT オス
PCPBH0LF1H	pH 6-12, 固形分濃度 10 % 以上	1/4" (6.35 mm) フレアテック	5 インチタイプ	1/4" (6.35 mm) フレアテック
PCPBH0S2FH	pH 6-12, 固形分濃度 10 % 以上	1/4" (6.35 mm) フレアテック	ショート (2.5 インチ) タイプ	1/8" NPT オス
PCPBH0SF1H	pH 6-12, 固形分濃度 10 % 以上	1/4" (6.35 mm) フレアテック	ショート (2.5 インチ) タイプ	1/4" (6.35 mm) フレアテック
PCPBH3LF1H	pH 6-12, 固形分濃度 10 % 以上	3/8" (9.53 mm) フレアテック	5 インチタイプ	1/4" (6.35 mm) フレアテック
PCPBH3SF1H	pH 6-12, 固形分濃度 10 % 以上	3/8" (9.53 mm) フレアテック	ショート (2.5 インチ) タイプ	1/4" (6.35 mm) フレアテック