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Planarcap® KPX フィルター

 Planarcap® (プレナキャップ) KPX フィルターは、65 nm以上のテクノロジーノードにおいて、マイクロスクラッチの発生を防ぐ、低濃度の小粒径研磨スラリーやセリアベーススラリー向けの供給点用フィルターです。

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