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Planargard® CL フィルター

Planargard® (プレナガード) CL フィルターは、65 nm 以上のテクノロジーノードにおいて、高い粒子の保持能力とハードパーティクルおよびゲル状不純物に対し、優れた除去性能を発揮するCMPスラリーの製造または供給用フィルターです。

 

 

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