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SB300 FOSB

SB300はFIMSに対応するFOSBで、発売以来インテグリスは独自の技術主導の設計に基づき改良を続けてきました。

SB300 FOSBは、FIMS対応で、他社にない一体成形のウェーハサポートがあり、正確にウェーハ面を配置します。自動化に対応し、装置互換性を確保するための以下のようなさまざまな機能があります。
 
  • フルピッチ10 mmウェーハ間隔
  • 自動化対応FIMSドア
  • 自動化対応トップフランジ
  • コンベヤレール
  • キネマティックカップリング採用のインターフェース 
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