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Solaris® APR CMP ディスポーザブル フィルター

特許取得済みの多層デプスメディア構造の Solaris (ソラリス) APR (Advanced Particle Reduction) フィルターは、先端ノードの CMP プロセスにおいて粗大粒子やスラリー凝集粒子を効率的に削減できます。

  • 特許取得済みの多層メディアは、粒子除去力が高く、欠陥を減少させ、歩留まりの向上に寄与
  • 微粒子を吸着するメディア設計により、CMP 後洗浄の不足を最小限に抑え、総コストオブオーナーシップを改善
  • ホールドアップ ボリュームが少ない構造は、薬液の廃棄量が少なく、立ち上げ時間の短縮が可能
  • セルフベントろ過により、フィルターメディア内のデットスペースの削減とスラリーの乾燥を防止
  • コネクトロジー® 設計は、迅速な装着を可能にし、装置のダウンタイムを最小限に抑え、装着中の有害な薬品との接触を抑制
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